GaN用衬底材料LiGaO2晶体超精密抛光的初步实验

摘要

主要介绍了作为发光半导体ＧａＮ衬底材料的ＬｉＧａＯ２单晶超精密抛光方法及初步结果。利用聚氨酯抛光盘配合ＳｉＯ２悬浮液，采用机械化学抛光的方法，已加工出表面粗糙度优于０．１ｍｍ，的超光滑表面。