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傅丹鹰;
清华大学精密仪器与机械系;
微光学机电系统; 微机械; MEMS; MOEMS; 结构工艺;
机译:用于微光学和微机电系统中超平面模具应用的低凹陷和高整体平面度的新型补偿化学金属抛光
机译:用于微光学微机电系统的生物鸟嘌呤晶体/铁磁薄膜混合板的制备
机译:基于微光学机电系统和微焦焦X射线管的无掩模X射线光刻
机译:用于高精度位移传感器设计的微光学机电系统(MOEMS)使用环谐振器阵列
机译:非成像微光学系统的应用。
机译:微光学断层扫描技术(MOST)综述:全脑光学成像技术和应用已邀请
机译:机电系统传感器的应用与发展
机译:用于mEms应用的集成衍射微光学器件的制作
机译:由固态机电系统(备忘录)形成的用于复制光子衍射存储器的微光学系统
机译:使用微机电系统的微光学耦合器及其制造方法
机译:确定微光学光刻设备发展和剂量的方法。
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