用于纳米测量的扫描X射线干涉技术

摘要

介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了该技术的基本原理，全面介绍发国外在该领域的研究现状，并对影响纳米影响的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。