首页> 中文期刊>光学精密工程 >基于白光的双波长相移干涉的误差分析

基于白光的双波长相移干涉的误差分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理,具体分析了影响测量精度的各种误差因素,给出了相应的误差计算公式和计算结果,并用模拟测量结果和实际测量结果进行了验证和比较.

著录项

来源
《光学精密工程》|1999年第5期|106-113|共8页
作者
周明宝; 林大键; 郭履容; 郭永康;
展开▼
作者单位

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;

四川联合大学物理系,成都610041;

四川联合大学物理系,成都610041;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
相移干涉; 表面形貌; 测量; 测量精度;
入库时间 2023-07-25 12:26:47

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法 [J] . 李慧鹏 ,谭朦曦 ,朱伟伟 . 光子学报 . 2016,第6期
2. 基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征 [J] . 马龙 ,郭彤 ,赵健 . 纳米技术与精密工程 . 2011,第001期
3. 双棱镜干涉测光波波长实验的快速调节及其误差分析 [J] . 黄家敏 . 郴州师范高等专科学校学报 . 1999,第002期
4. 基于三稳频激光波长的相移干涉测量法修正空气折射率湿度参数 [J] . 陈强华 ,徐东 ,张孟策 . 北京理工大学学报 . 2017,第11期
5. 基于波长颜色映射关系的白光干涉及衍射图样仿真 [J] . 徐代升 ,杜旭日 ,甘亮勤 . 江西科学 . 2012,第001期
6. 一种基于等效相移的新型双波长光纤激光器 [C] . 季恒 ,杨四刚 ,尹飞飞 . 全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议 . 2007
7. 白光相移干涉技术中相移控制器的研制 [A] . 邢计元 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号