二元光栅衍射特性的矢量理论分析

摘要

根据麦克斯韦基本方程组,推导了描述二元光栅衍射特性的矢量理论分析方法--严格的耦合波方法,给出了TE、TM两种偏振模式入射下的耦合波方程.应用该方法对二元位相光栅的衍射特性进行了分析,验证了该方法的收敛性及准确性.讨论了光栅周期、光栅深度、入射波入射角度等参数对光栅衍射特性的影响.