变栅距衍射光栅的原理及应用

时轮; 郝德阜

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变栅距衍射光栅(VLS)在像差校正等方面具有突出优点,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用.本文从VLS的像差校正原理出发,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨率光电探测器、表面干涉计量以及光纤通讯等领域的应用,并针对其技术特点指出了它的发展趋势.

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来源
《光学精密工程》 |2001年第3期|284-287|共4页
作者
时轮; 郝德阜;
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作者单位

吉林工学院机电学院,;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
变栅距; 衍射光栅; 像差校正; 应用;

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