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王延风; 卢志山; 何惠阳; 宋文荣;
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;
CAD/CAE; 磁悬浮; 直线电机; 光刻机; 有限元法; 电磁场分析; 结构力学分析; 模态分析; 模态测试;
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