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激光三角法在位移测量中的应用

         
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摘要

介绍了单点式光学三角法测量物体位移的两种结构-直射式与斜射式,对两种结构的测量原理进行了深入的分析并对其各自的特点进行了阐述.以半导体激光器作为光源,CCD作为光电探测器件,采用直射式结构设计了一种光电位移传感器.分析了影响传感器分辨率,仪器测量精度的主要因素,并提出相应的优化方法.

著录项

  • 来源
    《光学精密工程》 |2004年第z2期|104-107|共4页
  • 作者

    刘维; 韩旭东; 艾华;

  • 作者单位

    中国科学院,研究生院,北京,100000;

    中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

    中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

    中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光检测技术;
  • 关键词

    三角法; 光电位移传感器; CCD;

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