合肥同步辐射反射率测量装置

摘要

分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统.该反射率计工作波长5～100 nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度.样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ-2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10 -6 ～10 -8 Torr的真空度.对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式.