超精密渐开线齿形的测量方法

摘要

分析了双基圆盘式渐开线测量仪的测量原理,其具有结构简单、测量过程中无测头位置引起的阿贝误差等特点.该仪器采用交叉弹簧片的铰链结构作为误差传递杠杆,其灵敏度高、无间隙.经过对仪器的主要测量误差源进行补偿后,其系统的测量不确定度(U95)＜±0.5 μm,测量精度可以满足1级渐开线齿形的测量要求.通过与其它渐开线齿形测量方法的比较,双基圆盘式渐开线测量仪仅在测量自动化和多功能性等方面不如CNC齿形量仪,其在测量精度与制造经济性等方面更具优势,是超精密渐开线齿形测量的理想方法.