机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制

摘要

对大曲率半径(即长焦距)金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究.为了刻制长焦距凹面光栅,设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架,它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能.给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹面光栅曲率半径、光栅口径、金刚石刀头横向尺寸之间关系的数学表达式,理论分析了光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径的取值范围,研制了10.6μm激光系统用曲率半径为30 m的凹面金属光栅.检验结果表明,光栅的槽形质量较好,光栅的衍射效率可达96.8%以上.