高精度光谱辐射计测量超低光谱透过率

摘要

设计并研制了一种基于光栅双单色仪的高精度全自动单光束光谱辐射计.该仪器主要由高稳定氙灯、带有快门的单光阑屏、石英透镜、中性减光片、紫外光栅双单色仪、光电探测器及电控系统组成,测量光谱范围为200～400 nm,可以实现10-6～10-8量级光谱透过率高精度测量,测量过程由自行编制的计算机软件进行自动控制,能实现全自动单光束测量.给出了该仪器的测量原理、测量方法及数据处理方法.利用该仪器测量了紫外滤光片样品的光谱透过率,分析了测量不确定度.实验结果表明,该仪器测量精度高、速度快、测量合成标准不确定度＜3.16×10-3,完全满足测最精度要求,可应用于对精度要求高的紫外滤光片光谱透过率的测量.