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崔岩; 孟汉柏; 王兢; 石二磊; 王立鼎;
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023;
大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁,大连,116023;
大连理工大学电子与信息工程学院,辽宁,大连,116023;
PT/PZT/PT薄膜; 微悬臂梁; 微力传感器;
机译:微致动器氧化硅基板上Pt / PZT / Pt薄膜膜片的应力测量
机译:Ir(Pt)/ PZT(PZT / PT)/ Ir纳米薄膜结构的俄歇谱和性质
机译:PT层中过量的Pb对PT PZT PT薄膜的微观结构和介电特性的影响
机译:用于微力传感器的PT / PZT / PT薄膜的沉积和传感特性
机译:大嘴鲈鱼的微营养成分,斑点鲈鱼的微点孢属和它们的F1回交杂种(Micropterus punctulatus x Micropterus salmoides)x Micropterus salmoides [Teleostei:Centrarchidae]。
机译:高灵敏度机电压阻基于大面积分层PtSe2膜的压力传感器
机译:使用硅微力传感器表征PZT薄膜微致动器。
机译:pt基底上化学衍生pZT薄膜的相和纹理演变。
机译:Appts。用于热塑性薄膜的连续微穿孔-特别是用于在热收缩膜中制作通风孔而不会相邻的过热
机译:硅基PT / PZT / PT夹心结构及其制造方法
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