尺蠖型压电直线驱动器的动态特性

摘要

分析了尺蠖型压电直线驱动器的结构原理,建立了驱动器系统动力学模型.对驱动器定子进行了模态分析,并对分析结果进行了评价.对设计开发的驱动器样机输出特性进行了试验测试,实验测得驱动器单步输出位移稳定可靠,100 V驱动电压下,单步输出位移为9.8 μm.对驱动器直线动子的速度、加速度特性进行了测试,依据速度、加速度信号进一步分析了驱动器的动态响应特性.实验结果表明,所开发的驱动器具有动态特性好、运动稳定等优点.