尺蠖型压电驱动器的闭环控制

摘要

针对尺蠖型压电驱动器的输出特性,提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线,逐步"搜索"驱动电压值,从而逼近目标位置的闭环控制方法.分析了控制方法的可行性,针对该方法,构建了闭环控制实验系统,对该方法进行了实验验证.实验结果表明,采用该方法可以实现对尺蠖型压电驱动器的闭环精确控制,系统闭环定位误差低于0.18μrad,定位精度比开环工作提高了14.4%.该方法具有控制精度较高、响应迅速、易于实现等优点.