光学自由曲面研抛机床的综合误差建模与补偿

摘要

为提高光学自由曲面的加工精度,本文基于多体系统理论建立了五轴数控研抛机床综合误差模型.采用直接测量方式对各轴的移动误差和转角误差进行重复测量与分析,发现不同进给速度和测量间距对移动误差和转角误差没有显著影响.把误差数据代人综合误差模型中,得出研抛机床综合误差在x轴、y轴和z轴轴向上的移动误差和转角误差分量的变化规律,进而获知线性位移误差是影响综合误差最主要的因素.依据综合误差模型进行补偿实验,补偿后x轴、y轴和z轴的线性位移误差分别下降88％、89％和84％,补偿效果显著.实验结果证明本文所提出的综合误差建模及补偿方法具有较高的精度和较好的鲁棒性.