哈尔滨工业大学机电工程学院微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001;
深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室,广东深圳518060;
哈尔滨工业大学机电工程学院微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001;
深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室,广东深圳518060;
深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室,广东深圳518060;
深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室,广东深圳518060;