基于荧光成像的准分子激光系统多路光束自动准直

摘要

研究了基于准直光束成像的准分子激光主振荡功率放大(MOPA)系统的多路光束自动准直,实现了激光在放大器中的多程放大及高的靶面指向精度.采用352 nm He-Cd激光作为准直光源,提出了多光束感光屏同步接收与可见光CCD荧光成像相结合的复合图像采集技术,解决了自动准直系统多路激光的近场、远场图像获取问题.利用图像区域分割处理方法编制了准直信息处理软件,实现了对多光束的自动准直闭环反馈控制.最后,结合准分子激光MOPA系统中的预放大器光学设计进行了自动准直验证实验.结果表明:准直成像光强可调谐倍数为300,成像系统在放大器窗口处固有误差占放大器口径比例小于设计值1.08％,3路激光的自动准直时间为40 s,完全满足放大器的几何填充和能量提取要求.