多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能

摘要

为研究采用UV-LIGA(Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung)技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析.利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能.实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g.当加速度为12 000～18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000～18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等.初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据.