高分辨率4f传像系统分辨率的影响因素分析

摘要

研究了在实际应用中4f传像系统分辨率的影响因素及其作用机制,用于指导系统的设计和装调.首先,在理论上分析了由装调误差引起的像差对系统光学传递函数(MTF)产生的影响,并建立了描述二者关系的数学模型.基于该模型研究了1μm分辨率4f光学系统的装调误差,仿真计算了系统含有透镜偏心、倾斜、位移误差对MTF的影响,得到了分辨率随误差的变化曲线.实验结果表明,倾斜在15"以内,偏心误差在0.02 mm,位移在0.01 mm范围内,装调误差均会导致分辨率下降,虽然倾斜在极小范围内微调时分辨率会提高,但总的变化趋势不变.绘制的装调误差与分辨率的关系图,可为高分辨率4f系统的误差预估提供参考.