InP系单片集成波长分离器件的设计和制作

摘要

设计和制作了InP／InGaAsP学输入光波导，多输出光波导，和光栅的单片集成波长分离器件，文中给出了器件的设计参数，以及制作工艺，并给出了该器件的测试原理图。