光学薄膜激光预处理的研究

摘要

指出激光预处理是改善光学薄膜质量、提高其损伤阈值的行之有效的技术方案。实验表明,采用能量分级提升的方法,利用小光斑激光扫描,对不同制备工艺、不同材料的薄膜样品及其它光学材料进行激光预处理,不仅可以有效地消除薄膜元件表面的杂质、缺陷或吸附的水分等,而且普遍地提高了薄膜基体的损伤阈值。