470毫米＊470毫米特大面积长光栅板的研制

摘要

本文详细介绍了470毫米×470毫米特大面积长光栅板的制作过程。它包括两种特种光学加工工艺:一种是大面积、超薄(厚2毫米)平板玻璃的研磨工艺;另一种是大面积长光栅的刻蚀工艺。