JC—1型精密测角仪圆光栅的研制

摘要

本文介绍了一种新的接近——接触式光刻系统,刻制出多块带零位的、129600对铬线圆光栅。该光栅刻线质量良好,采用直流比相法检测,最大直径间隔误差为0.35～0.55″,均匀性误差为0.20～0.35″。