光学零件超声波清洗综述

摘要

在概述超声波清洗机理之后，着重介绍了光学零件超声波清洗的应用及其使用的清洗剂，脱水剂，干化剂等清洗辅料的进展状况，以及当前清洗辅料的研究动态及羰面临课题。