金刚石红外增透保护膜的研制及特性拟合

摘要

论述了在硅基板上用热灯丝法制备金刚石红外增透保护膜的工艺，通过多灯丝法，预打磨处理以及加偏压等方法得到了特性优良的金刚石薄膜，并利用对金刚石薄膜－硅板体系红外透射率的曲线拟合，推知了一系列不易直接测量的特性参数，可折射率，吸收系数，薄膜厚度等。