位相测量技术中系统参数的选择与测定

摘要

位相测量轮廓术是将被测物体表面投影机栅条纹的灰度分布变换为位相分布，从而求得被测物体高度分布的轮廓测量技术。本文讨论ＰＭＰ测量系统参数：抽样间隔Ｘ、Ｙ；光栅周期ｐ、ｑ；最大系统噪声ｎｍａｘ以及光瞳位置参数ｄ、Ｌ的选择和测定。这些参数的合理选择与精确定测定，将提高位相测量以及位相－高度转换的精度。