精密工作台定位控制系统的设计与研究

摘要

研制了一种大行程精密工作台定位控制系统，提出用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法来完成对工作台的定位控制，利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测，最后由计算机完成系统总体控制，本系统工作行程５０ｍｍ，定位精度±０．１μｍ。