光学薄膜的堆积密度及密度均匀性的分析与计算

摘要

光学薄膜的推积密度通常是利用薄膜在真空及大气中折射率的变化来计算，在ＩＡ保，我们发现有些薄膜的推积密度大于１．０，这意味着薄膜的密度比介中的材料密度还要密积，原因是薄膜具有较大的内压应力，我们还发现薄膜的波漂不依从于堆积密度。这是因为它们在不同的蒸发条件下具有不同的密度均匀性，在用ＥＢ及不同条件的ＩＡＤ的情况下，我们计算并分析了堆积密度及密度均匀系数，并用ＳＥＭ观察了薄膜的微结构。