一种新型多功能快速分光式膜厚仪

摘要

介绍了一种高性能的多通道光学薄膜膜厚监控系统的设计与制作，系统使用了ＣＣ秦为线阵探测器。详细论述了光源、接收器以及光纤导光系统物设计过程。实验表明该设备可以用于高精度高速测量，也适合于监控制作多层膜滤光片。