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高质量光学薄膜制备用新型无栅

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介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统.并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述.

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来源
《光学仪器》 |2001年第6期|45-48|共4页
作者
冯毓材; 江建国;
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作者单位

北京东方安泰克高技术有限公司;

北京光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质 ;
关键词
无栅霍尔离子源; 离子束辅助沉积; 光学薄膜;

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