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光电位置传感器PSD特性及其应用

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摘要

对光电位置传感器PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因.

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来源
《光学仪器》 |2002年第4期|30-33|共4页
作者
曾超; 李锋; 徐向东;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027;

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027;

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.14;
关键词
位置传感器; 光电器件;

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