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高真空光刻样品CCD显微观察装置

             
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摘要

介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.

著录项

  • 来源
    《光学仪器》 |2003年第4期|73-76|共4页
  • 作者

    陈元培; 陈旭南; 李展; 高洪涛; 陈献忠;

  • 作者单位

    中科院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209;

    中科院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209;

    中科院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209;

    中科院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209;

    中科院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 显微镜;
  • 关键词

    原子光刻; CCD; 显微系统; 柯拉照明;

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