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计量光栅制造综述

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摘要

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域.系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法.

著录项

来源
《光学仪器》 |2004年第4期|62-67|共6页
作者
汤天瑾; 曹向群; 林斌;
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作者单位

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TB212.1;
关键词
计量光栅; 光栅制造; 光栅检测;

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