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位置敏感探测器(PSD)的研究进展

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回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD.并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望.

著录项

来源
《光学仪器》 |2004年第4期|68-71|共4页
作者
陈冬严; 林斌; 陈钰清;
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作者单位

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术 ;
关键词
位置敏感探测器(PSD); 氢化非晶硅 ; 阵列 ; 综述;

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