短焦距折衍射变焦成像系统中菲涅耳波带片的设计与分析

摘要

在折衍射变焦成像系统中,菲涅耳波带片(FZP)的上下两块电极图形是完全对准的.但是在短焦距折衍射成像系统中,FZP最小环带间距已达到微米级,导致上下两块电极图形中心对准极为困难.为减少对准误差,将上基板电极设计成环状图形,下基板设计为一个平板电极.应用衍射光学方法从理论上对此设计进行了分析,并与上述上下两块电极图形完全对准的设计方式对成像系统的影响进行比较,结果增加了焦点数目.