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触点式微型光热驱动器设计及实验研究

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摘要

随着微电机系统(MEMS)在众多领域的广泛应用,各种形式的微型驱动器不断得到发展.介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理,设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器,开展了光热微驱动的实验研究,证明了光热微驱动的可行性,并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能.

著录项

来源
《光学仪器》 |2008年第4期|46-49|共4页
作者
王旭龙琦; 刘超; 张冬仙;
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作者单位

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
触点式; 光热膨胀; 优化型; 微型光热驱动器;

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