一种设计真空紫外高反膜的新方法

摘要

在真空紫外强吸收波段采用"逐层"(LBL)设计法.通过阐述"逐层"设计的理论基础和膜材选择的基本原则,运用MatLab软件,用解析加复平面作图法设计了对应于50～200nm波段的高反膜系.以熔融石英基底上硅、碳组成的膜系为例,用这种设计方法获得的平均反射率最高可达64%.对比常规周期多层膜,这种设计法可以明显地提高强吸收波段的反射率.