化学溶液沉积法制备红外上转换薄膜工艺的改进

摘要

分析了以环己烷和无水乙醇的混合液为体系的化学溶液沉积法在制备红外上转换薄膜时存在的问题,提出了部分改进措施.在此基础上,又提出了以硅酸钾和氯化钡的水溶液为体系的化学溶液沉积方案,并详细介绍了改进后的ZnS ∶ Cu,Pb,Mn薄膜的制备步骤.以该方案制备的薄膜成本更加低廉,工艺更加简单,而且具有更好的成膜质量.