长轨轮廓仪LTPⅡ的运行实验和各项改进措施

摘要

1 引言长轨轮廓仪,在本报告中简称LTP,是一种用于直接测量光学表面面形的仪器,扫描长度长达1m,灵敏度约0.1μrad(0.02arcsec)。该仪器是由Brookhaven National Laboratory国家实验室的Poter Takacs和Shinan Qian研制出来的。他们与Sieve Irick,Engene Church和Continental Optical Corporation等单位合作研究.使该仪器的功能得到较大改进,并且最近把它变成了商品。利用该仪器测量时,限制该仪器达到它最高精度的主要因素是测量的条件和用户对仪器的改装调整等因素。