含浸电极型液态金属离子源

摘要

一种含浸电极型液态金属离子源已经获得发展。该种离子源应用烧结多孔钨“尖端”。研究了能应用于含浸电极型液态金属离子源的各种低熔点合金,并成功地引出了Si、Ge和Sb离子,测定了基本离子源参数,如电流—电压特性、质谱分析和离子源引出束工作寿命。