DLC膜高能C＋束辐照效应的初步研究

摘要

用114keV的C^+束,在2×10^(16)ions/cm^2和1×10^(17)ions/cm^2两种剂量下对双离子束溅射淀积DLC膜(即类金刚石碳膜)进行了辐照。基片为玻璃。辐照过程中基片温度低于80℃。用红外透射光谱、Raman光谱及其拟合以及电阻率测量等手段对膜层进行了表征。结果表明,原淀积膜含有SP^3 C-C、SP^2 C-C、SP^3 C-H及SP^2 C-H等键,并且键角是无序化的。随C^+辐照,膜中SP^3 C-H键相对减少,SP^2 C-H键相对增多;同时,膜中键角无序化程度降低,结晶化程度增强,微晶在数量及尺寸上增大。这些结构上的变化导致了辐照膜层电阻率和红外透过率相对于原膜层大幅度的下降。