两种作用势的溅射模拟计算

摘要

本文用基于两体碰撞近似的蒙特卡罗模拟方法,研究不同相互作用势(Moliere势和Universal势)对溅射模拟计算结果的影响。讨论了入射角和入射能量与溅射产额的依赖关系,并给出它们的溅射粒子能谱、角分布及深度来源分布等计算结果。上述两种作用势计算结果与有关实验数据比较表明,Universal势与实验结果符合得更好,尤其是在入射离子低能区域。