氮离子轰击司太立合金沉积层的抗蚀性能研究

摘要

2Crl3不锈钢基体上190keV氮离子辐照磁控溅射沉积司太立合金的试样,在0.5mol/1H_2SO_4及0.1mol/l NaCl溶液中采用三电极动电位扫描法测定试样的阳极极化曲线,并通过RBS及XPS分析.对氮离子在不同介质中的抗蚀行为进行了机理探讨。