扫描质子微探针的安装调试及象差控制

摘要

讨论了扫描质子微探针(SPM)安装调试的方法,通过象差调整,提高了SPM系统的空间分辨率。该系统可提供空间分辨率为2-3μm、束流强度为100pA的3MeV H^+束和2MeV He^+束。