电子束预辐射筛选抗辐射晶体管工艺的初步研究

摘要

介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作，研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量，束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤－辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和实验依据。