9Cr18钢上离子束辅助沉积TiCxNy膜的研究

摘要

用离子束辅助沉积技术在9Cr18钢基体上形成了TiCxNy膜.TEM观察膜呈多晶结构,具有(111)、(200)和(220)择优取向.AES和XPS分析进一步证实,TiCxNy膜呈含氧配置.膜的硬度与N含量有关,N的含量过高时硬度下降.在本实验条件下以离子注量为3×1017/cm2时硬度最高,干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,它的存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化皮的形成,显著改善基体的磨损特性,并能使基体由粘着磨损向磨粒磨损转化.