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LIGA工艺在工程中的两类应用

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本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求.

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来源
《核技术》|2002年第10期|883-888|共6页
作者
高杨; 李枚; 彭良强; 张菊芳; 黄军容;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;

中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900;

中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900;

中国科学院高能物理研究所,北京,100039;

中国科学院高能物理研究所,北京,100039;

中国科学院高能物理研究所,北京,100039;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
LIGA; 密码锁; 加速度开关; MEMS;

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