• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中文期刊>核技术 >磁过滤等离子体沉积和注入技术

磁过滤等离子体沉积和注入技术

     
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术.利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用.本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用,以及磁过滤等离子体沉积和注入装置及其应用.

著录项

  • 来源
    《核技术》|2002年第9期|695-698|共4页
  • 作者

    张荟星; 李强; 吴先映;

  • 作者单位

    射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京师范大学低能核物理研究所,北京,100875;

    射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京师范大学低能核物理研究所,北京,100875;

    射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京师范大学低能核物理研究所,北京,100875;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TL657;
  • 关键词

    磁过滤器; 等离子体沉积; 阴极真空弧技术;

  • 入库时间 2023-07-25 14:47:22

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号