Au离子注入花生种胚深度的研究

摘要

使用金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)离子注入机对花生种胚进行Au离子的注入,采用卢瑟福背散射(RBS)和X射线能谱分析(EDAX)法测量Au元素在花生种子中的深度分布,并观察注入前后的样品形貌.结果表明,由于样品表面粗糙,RBS不适于测量Au元素在花生种子中的浓度分布,而EDAX的测量则显示Au元素在花生种子中的最大穿透深度可达15μm.另外,本文还讨论了离子注入的诱变机理.